凈化鋁材的凈化需要什么樣的氣壓
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人氣：8 發(fā)表時(shí)間：2023-05-29
因?yàn)榧庸ぞ雀s亂的凈化進(jìn)程，使溫度動(dòng)搖范圍的要求越來(lái)越小。例如，在大規(guī)模集成電路的出產(chǎn)的光刻曝光進(jìn)程中，掩模資料是玻璃和硅的熱脹大系數(shù)之間的差異越來(lái)越小的要求。直徑為100微米的硅晶片的溫度上升到一個(gè)程度，鋁材就引起了0.24um的線性脹大，因此必須有一個(gè)穩(wěn)定的溫度的±0.1度，而需要的濕度值一般較低，因?yàn)槿撕购蟮漠a(chǎn)品將有污染，尤其是他們懼怕鈉半導(dǎo)體廠，這家工廠應(yīng)該不會(huì)超越25度。
高濕度產(chǎn)生更多的問題。當(dāng)相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷凝管內(nèi)壁將是，假如有一個(gè)準(zhǔn)確的設(shè)備或電路，可引起各種事端。相對(duì)濕度在50%的防銹。此外，高濕度的空氣中時(shí)，水經(jīng)過在晶片表面粘附分子化學(xué)吸附在表面上的塵埃電阻難以去除。相對(duì)濕度越高，附著除去，假如相對(duì)濕度低于30%時(shí)，很簡(jiǎn)單吸附在粒子表面上的靜電的影響的難度，一起很多簡(jiǎn)單發(fā)生擊穿的半導(dǎo)體器材。關(guān)于晶圓出產(chǎn)35-45%的最佳溫度范圍內(nèi)。
在凈化鋁材室中要求的壓力：
關(guān)于大多數(shù)的潔凈室中，為了避免從外界污染，需要堅(jiān)持的內(nèi)部壓力(靜壓)高于外界的壓力(靜壓)。要堅(jiān)持壓力差應(yīng)契合下列一般準(zhǔn)則：
1、干凈的空間壓力高于非潔凈空間的壓力。
2、高水平的清潔高于相鄰的空間中的壓力水平低的潔凈度的空間中的壓力。
3、相似之處潔凈室的開門，高水平的房間的清潔度。
依賴于新鮮的空氣，堅(jiān)持的壓力差，新鮮空氣能夠從該間隙泄漏出風(fēng)的壓力差，以補(bǔ)償。
